Outils de coupe Machine de revêtement PVD

La machine de revêtement sous vide a besoin de matériaux lors du revêtement. Aujourd'hui, nous allons examiner les matériaux couramment utilisés.

1. Fluorure : fluorure de néodyme NbF3, fluorure de baryum BaF2, fluorure de cérium CeF3, fluorure de magnésium MgF2, fluorure de lanthane LaF3, fluorure d'yttrium YF3, fluorure d'ytterbium YbF3, fluorure d'erbium ErF3 et autres fluorures de haute pureté.

2. Oxydes : monoxyde de silicium SiO, dioxyde de silicium SiO2, dioxyde de titane TiO2, dioxyde de zirconium ZrO2, dioxyde d'hafnium HfO2, monoxyde de titane TiO, pentoxyde de titane Ti3O5, pentoxyde de niobium Nb2O5, pentoxyde de tantale Ta2O5, oxyde d'yttrium Y2O3, oxyde de zinc ZnO et autres matériaux de revêtement d'oxyde de pureté.

3. Matériaux de revêtement métallique: aluminium haute pureté Al, cuivre haute pureté Cu, titane haute pureté Ti, silicium haute pureté Si, or haute pureté Au, argent haute pureté Ag, indium haute pureté In, haute pureté magnésium Mg, zinc Zn haute pureté, platine Pt haute pureté, germanium haute pureté Ge, nickel haute pureté Ni, or haute pureté Au, alliage or-germanium AuGe, alliage or nickel AuNi, alliage nickel chrome NiCr, alliage titane aluminium TiAl, cuivre alliage d'indium et de gallium CuInGa, alliage de séléniure de cuivre et d'indium et de gallium CuInGaSe, alliage de zinc et d'aluminium ZnAl, matériaux de revêtement aluminiumMetal tels que l'alliage de silicium AlSi.

4. Autres composés : sulfure de zinc ZnS, séléniure de zinc ZnSe, nitrure de titane TiN, carbure de silicium SiC, titanate de lanthane LaTiO3, titanate de baryum BaTiO3, titanate de strontium SrTiO3, titanate de praséodyme PrTiO3, sulfure de cadmium CdS et autres matériaux de revêtement sous vide.

Les matériaux utilisés dans les machines de revêtement sous vide courantes présentent les quatre aspects ci-dessus : fluorures, oxydes, matériaux de revêtement métallique et autres composés.

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