Méthode de mesure et de surveillance de l'épaisseur du film d'une machine de revêtement sous vide moderne

La méthode de contrôle de revêtement la plus directe est la méthode de microbalance à cristal de quartz (QCM), qui peut piloter directement la source d'évaporation et faire passer le déflecteur par le contrôle PID pour maintenir le taux d'évaporation. Tant que l'instrument est connecté au logiciel de contrôle du système, il peut contrôler l'ensemble du processus de revêtement. Mais la précision de (QCM) est limitée, en partie parce qu'elle surveille la qualité du revêtement déposé plutôt que son épaisseur optique.

De plus, alors que le QCM est très stable à des températures plus basses, il devient très sensible à la température à des températures plus élevées. Lors d'un chauffage prolongé, il est difficile d'empêcher le capteur de tomber dans cette zone sensible, provoquant des erreurs importantes dans le film.

La surveillance optique est la méthode de surveillance préférée pour les revêtements de haute précision car elle permet un contrôle plus précis de l'épaisseur de la couche (si elle est utilisée correctement). L'amélioration de la précision découle de nombreux facteurs, mais la raison la plus fondamentale est la surveillance de l'épaisseur optique.

Le système de surveillance optique à longueur d'onde unique OPTIMAL SWA-I-05 adopte une mesure et un contrôle indirects, combinés à un logiciel de surveillance optique avancé développé par le Dr Wang, pour améliorer efficacement la théorie et la méthode de sensibilité de la réponse optique aux changements d'épaisseur du film à réduire l'erreur ultime, offrant un choix de modes de rétroaction ou de transmission et une large gamme de longueurs d'onde de surveillance. Il est particulièrement adapté au contrôle de revêtement de différentes épaisseurs de film, y compris le contrôle de film irrégulier.