Machine de revêtement au plasma ionique à arc de chambre de grande taille

Le principe du placage ionique à l'arc est étudié sur la base de la théorie de la décharge d'arc sous vide à cathode froide. La technologie de base de la machine de revêtement ionique à arcs multiples est sa source d'évaporation à l'arc. La source d'évaporation de la machine de revêtement ionique à arcs multiples est une source d'évaporation solide d'auto-évaporation et d'auto-ionisation relativement spéciale de décharge d'arc à cathode froide.

Par rapport à la source d'évaporation traditionnelle, la source d'évaporation à l'arc de la coucheuse ionique multi-arc présente des caractéristiques évidentes :

Le film de revêtement a une haute densité, une longue durée de vie et une haute résistance;

En tant que source d'évaporation à arc de type solide, sa forme, sa taille et sa position peuvent être modifiées ;

Large plage de vide de fonctionnement ;

énergie ionique plus élevée;

Taux d'ionisation élevé jusqu'à 60 % -80 % ;

Des taux de dépôt élevés, tels que TiN, peuvent atteindre des taux de dépôt élevés de 100 nm/s ~ 1000 nm/s.

Le nitrure de titane peut être utilisé comme film appliqué sur du verre. Lorsque la réflectivité infrarouge est supérieure à 75 %, lorsque l'épaisseur du film de nitrure de titane est supérieure à 90 nm, les performances d'isolation thermique du verre peuvent être efficacement améliorées. De plus, l'ajustement de la teneur en pourcentage d'azote dans le nitrure de titane peut modifier la couleur du film de nitrure de titane, obtenant ainsi un effet esthétique idéal.

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