Machine de revêtement d'outils PVD

De quoi est composé le système d'équipement de revêtement PVD sous vide ? Aujourd'hui, nous allons vous donner une brève introduction.

(1) Pompe principale : dans le système de vide, la pompe à vide utilisée pour obtenir le degré de vide requis pour répondre aux exigences spécifiques du processus, telles que la pompe à diffusion d'huile dans la machine de revêtement sous vide, est la pompe principale.

(2) Pompe primaire : une pompe à vide utilisée pour maintenir la pression de la ligne primaire d'une pompe à vide en dessous de sa pression primaire critique. Par exemple, la pompe à palettes rotatives ou à tiroir configurée devant la pompe Roots est la pompe primaire.

(3) Pompe brute : une pompe à vide qui commence à pomper à partir de la pression atmosphérique et à pomper la pression du système vers une autre pompe à vide pour commencer à fonctionner. Par exemple, la pompe à tiroir dans la machine de revêtement sous vide est la pompe à pétrole brut.

(4) Pompe de maintenance : dans le système de vide, le volume d'air est très faible et la pompe primaire ne peut pas être utilisée efficacement. A cet effet, une pompe auxiliaire de moindre capacité est configurée pour entretenir la pompe principale, dite pompe de maintenance. Par exemple, une petite pompe à palettes rotatives est équipée en sortie de la pompe à diffusion, qui est une pompe de maintenance.

En effet, un simple système de vide ne peut obtenir qu'un vide grossier. Lorsqu'un vide poussé est souhaité, une pompe à vide poussé est généralement connectée en série dans le système de vide. Par exemple, une pompe Roots et une pompe à vis sont toutes des pompes qui obtiennent un vide poussé. Lorsqu'une pompe à vide poussé est connectée en série, des vannes sont généralement ajoutées à l'entrée et à la sortie de la pompe à vide poussé, de sorte que la pompe à vide poussé peut maintenir seule le vide. Si la pompe à vide poussé connectée en série est une pompe à diffusion d'huile, afin d'éviter qu'une grande quantité de vapeur d'huile ne reflue dans le récipient pompé, un piège, une chicane de refroidissement par eau, est généralement ajouté à l'entrée de la pompe à diffusion d'huile. . Selon les besoins, des dépoussiéreurs, des têtes de jauge de relais à vide, des tuyaux de raccordement flexibles à vide, des soupapes de décharge d'air d'entrée de pompe à vide, des radiateurs, etc. peuvent également être ajoutés à la canalisation, formant ainsi un système de vide poussé relativement complet.

La société adhère à la politique d'entreprise de "recherche du marché par la réputation, la survie par la qualité, le développement par l'innovation et les avantages par la gestion", et la qualité du produit a été davantage garantie. Bienvenue dans notre entreprise pour acheter de l'équipement sous vide.

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