Machine de revêtement sous vide Fabricant de machine de revêtement sous vide Équipement de revêtement sous vide Nettoyage de processus

Le matériau sous vide doit être nettoyé avant le processus sous vide de la machine de revêtement sous vide pour éliminer les polluants de la surface de la pièce ou du matériau du système ; le nettoyage de la surface des pièces de la machine de revêtement de la lampe est également nécessaire, car les sources de gaz et de vapeur causées par les polluants ne sont pas seulement Cela rendra le système de vide incapable d'obtenir le degré de vide requis. De plus, en raison de la présence de contaminants, cela affectera également la résistance et les performances d'étanchéité de la connexion du composant sous vide.

Les polluants de la machine de revêtement sous vide peuvent être définis comme "tout type de substance ou d'énergie inutile", la machine de revêtement ionique multi-arc peut être divisée en solide, gaz et liquide selon l'état physique des polluants, ils existent sous forme de film ou de granulés . En termes de caractéristiques chimiques, il peut être à l'état ionique ou covalent, et peut être inorganique ou organique.

La surface de la coucheuse sous vide exposée à l'air est la plus susceptible d'être contaminée. Il existe de nombreuses sources de contamination. La contamination initiale fait généralement partie du processus de formation de la surface elle-même. Les phénomènes d'adsorption, les réactions chimiques, les processus de lixiviation et de séchage, les traitements mécaniques, les processus de diffusion et de ségrégation contribuent tous à l'augmentation de la contamination de surface des différents composants. Les types de contaminants les plus courants à la surface des matériaux sous vide sont les suivants.

①Graisse : lubrifiants, fluides de coupe, graisses sous vide, etc., qui sont contaminés pendant le traitement, l'assemblage et le fonctionnement ;

②À base d'eau : sueur des mains pendant le fonctionnement, vapeur d'eau pendant le soufflage, salive, etc. ;

③Oxyde de surface : l'oxyde de surface formé par le matériau placé dans l'air ou placé dans de l'air humide pendant une longue période ;

④Substances acides, alcalines et salées : substances résiduelles lors du nettoyage, sueur des mains, minéraux dans l'eau, etc. ;

⑤Résidus de polissage et poussière et autres matières organiques dans l'air ambiant.

Selon les exigences, la surface nettoyée de la machine de revêtement sous vide peut être divisée en deux catégories : surface propre au niveau atomique et surface propre de la technologie de traitement.

Le travail de nettoyage en place au début de la machine de revêtement sous vide peut réduire beaucoup de problèmes, éviter l'apparition de nombreux petits problèmes dans la machine de revêtement par pulvérisation cathodique et avoir un effet très positif sur l'efficacité du travail et la qualité du revêtement. de la machine de revêtement sous vide. Il peut grandement améliorer la stabilité de travail de toutes les parois de la cuve et des autres surfaces des composants du système de vide dans diverses conditions de travail. Ces conditions de fonctionnement comprennent : haute température, basse température, et l'émission et le bombardement d'électrons, d'ions, de photons ou de particules lourdes.