Caractéristiques de conception du dispositif à puce de comparaison multi-puces de la machine de revêtement sous vide

1) Cylindre fixe 3 La conception de la forme cylindrique, du grand diamètre, de la structure à paroi épaisse et de la méthode de fixation à symétrie circonférentielle peut assurer une résistance et une rigidité suffisantes, et en même temps, elle peut également empêcher l'abrasif de pulvérisation à haute température de contaminer ses pièces internes , pour assurer la souplesse de la rotation du cadran 15 .

2) La conception du siège de roulement circulaire 2 assure l'étanchéité et la verticalité de l'installation du siège de roulement ; augmenter le diamètre de l'arbre 1, augmenter la distance d'installation entre les deux roulements dans le siège de roulement 2, améliorer sa propre résistance et sa rigidité, assurer que la rigidité de l'arbre 1 et la flexibilité de rotation du cadran 15 pendant le processus de rotation sont cohérentes avec la répétabilité de la position.

3) Chargement du mécanisme de transposition, en élargissant le diamètre de la plaque de support 16, la surface effective du mécanisme dans la direction du plan est augmentée et un film comparatif de grand diamètre (Φ26,5 mm) peut être installé, ce qui est propice au réglage du chemin optique et améliore la qualité du film optique; La pièce de comparaison 12 est constituée d'une seule pièce de verre en tant qu'unité de pièce de comparaison. La pièce de comparaison adopte la méthode d'installation d'empilement tridimensionnel spatial. Plusieurs morceaux de verre sont empilés et installés dans un cylindre de stockage de pièces de comparaison 13, de sorte que 50 à 100 pièces de pièces de comparaison peuvent être placées à la fois, ce qui résout le problème de la machine de revêtement. Revêtement de films optiques de précision multicouches, par rapport au problème que le petit nombre de feuilles affecte le nombre de couches de revêtement et la précision.

4) La coopération de la plaque de positionnement 6 et du couplage optique de type fente 17, à travers le couplage optique de type fente, les trois fentes de 120 degrés également divisées sur la plaque de positionnement sont détectées, et la rotation du moteur est contrôlée pour s'arrêter . La cohérence de la rotation et du positionnement de l'axe 1 est garantie d'être répétée, et le cadran 15 est entraîné pour compléter l'action précise du cadran.

5) Le mécanisme d'alimentation du joint rotatif est introduit dans le mécanisme de joint Wilson 5, qui garantit non seulement que le moteur 9 entraîne la rotation flexible de l'arbre 1 par engrènement, mais assure également l'effet d'étanchéité de la chambre à vide au à l'extérieur. La conception optimisée du dispositif de comparaison multipuce de la machine de revêtement sous vide présente les caractéristiques suivantes : (1) Structure simple, haute résistance et bonne fiabilité ; (2) Le nombre de puces de comparaison est important, l'efficacité de la production est améliorée et des optiques de précision ultra-multicouches peuvent être revêtues (3) Le diamètre du film comparatif est augmenté, la précision de la surveillance du film est améliorée, le les exigences pour le système matériel sont réduites et le système est facile à réaliser un contrôle automatique ; (4) Le coût de maintenance est faible.

Grâce à la conception optimisée du dispositif de pièce de comparaison multi-pièces de la machine de revêtement sous vide, la flexibilité de la rotation du mécanisme de la pièce de comparaison et la cohérence de la répétition sont assurées, et la petite surface effective de la pièce de comparaison, le réglage peu pratique de le chemin optique et le rapport signal sur bruit du signal optique sont résolus. Cela résout également le problème de moins de chargement de feuilles comparatives, ce qui peut grandement améliorer la qualité du film optique revêtu par la machine de revêtement sous vide existante, et le film optique avec plus de 30 couches peut être revêtu. La pratique a prouvé que cette structure de feuille comparative est utile et peut être promue et mise en œuvre dans l'industrie moderne du revêtement optique sous vide.